ヒラクリ　ケンジ   HIRAKURI Kenji   平栗　健二    所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月	2007/11
発表テーマ	実用プラズマプロセス技術の最前線　～カーボン系とシリコン系プロセスの違いは何だ？
会議名	日本学術振興会プラズマ材料科学第１５３委員会
開催地名	東京
会議区分	国内会議
講演区分	講師