シノダ ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki
  篠田 宏之
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月 2014/03
発表テーマ スパッタエピタキシー法によるGaN系及びZnO系半導体単結晶層の成長
会議名 日本真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第137回定例研究会
主催者 一般社団法人 日本真空学会
開催地名 東京都港区
会議区分 国内会議
講演区分 講師
単独共同区分 単独
発表者・共同発表者 篠田 宏之