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シノダ ヒロユキ
SHINODA Hiroyuki
篠田 宏之 所属 東京電機大学 工学部 電子システム工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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| 発表年月 | 2014/03 |
| 発表テーマ | スパッタエピタキシー法によるGaN系及びZnO系半導体単結晶層の成長 |
| 会議名 | 日本真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第137回定例研究会 |
| 主催者 | 一般社団法人 日本真空学会 |
| 開催地名 | 東京都港区 |
| 会議区分 | 国内会議 |
| 講演区分 | 講師 |
| 単独共同区分 | 単独 |
| 発表者・共同発表者 | 篠田 宏之 |