マツダ　ナミオ   MATSUDA Namio   松田　七美男    所属   東京電機大学  システムデザイン工学部 自然科学系列（システムデザイン工学部）    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 物質工学専攻    職種   教授
発表年月日	2005/11/10
発表テーマ	マグネトロンスパッタ法により作成した透明導電膜に対するH2O添加の影響
会議名	第46回真空に関する連合講演会
学会区分	全国学会
発表形式	ポスター
開催地名	学習院大学百周年記念館
発表者・共同発表者	坂村基樹，井上竜ノ介