ムツクラ　ノブキ   MUTSUKURA Nobuki   六倉　信喜    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2015/09/15
発表テーマ	UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長 (II)
会議名	第76回応用物理学会秋季学術講演会
主催者	公益社団法人　応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
開催地名	名古屋国際会議場
発表者・共同発表者	五味 敬太、神田 赳志、水野 愛、篠田 宏之、六倉 信喜