モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
発表年月日	2010/09/15
発表テーマ	極低濃度のHF水溶液を用いたナノ構造シリコンの形成II
会議名	第71回応用物理学会学術講演会
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	安藤光、福家優、中路義久、渡辺晃次、本橋光也、本間和明
概要	No.15a-ZD-7