モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
発表年月日	2013/09/19
発表テーマ	マイクロ・ナノシリコンへのSiC超薄膜の作製
会議名	第74回応用物理学会秋季学術講演会
主催者	応用物理学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
開催地名	京都
発表者・共同発表者	金野健太郎，安永順二，本橋光也
号	19a-D6-8