モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2015/06/05
発表テーマ 高周波グロー放電プラズマの位相制御とメゾスコピックSiへの処理効果
会議名 2015年平成27年度日本材料科学会学術講演大会
主催者 日本材料科学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
単独共同区分 単独
開催地名 東京
発表者・共同発表者 田口貴稔, 坂元飛鳥, 今泉拓哉, 清水友貴, 幸谷 智, 丹羽雅昭, 本橋光也