モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
発表年月日	2011/03/10
発表テーマ	極低濃度HFを用いて作製したマイクロ／ナノシリコンの表面構造
会議名	平成22年度日本表面科学会東北・北海道支部講演会
主催者	日本表面科学会
学会区分	地方学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	長島康仁、深井浩輝、今野正昭、中島大祐、加藤英明、安藤光、渡辺晃次、本橋光也
概要	No. P-07