モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2011/03/10
発表テーマ 極低濃度HFを用いて作製したマイクロ/ナノシリコンの表面構造
会議名 平成22年度日本表面科学会東北・北海道支部講演会
主催者 日本表面科学会
学会区分 地方学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 長島康仁、深井浩輝、今野正昭、中島大祐、加藤英明、安藤光、渡辺晃次、本橋光也
概要 No. P-07