ヒラクリ ケンジ
HIRAKURI Kenji
平栗 健二 所属 東京電機大学 工学部 電気電子工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 職種 教授 |
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発表年月日 | 2005/11/24 |
発表テーマ | [RF プラズマ CVD 法による厚い PC 基板への DLC 堆積] |
会議名 | 第19回ダイヤモンドシンポジウム, 大阪大学, |
学会区分 | 研究会・シンポジウム等 |
発表形式 | 口頭(一般) |
発表者・共同発表者 | 龍田和也, 佐藤慶介, 平栗健二, |