ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2015/11/20
発表テーマ RGB測定によるa-C:H成膜中のプラズマ発光状態の観察と成膜評価
会議名 第28回ダイヤモンドシンポジウム
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
開催地名 東京電機大学
発表者・共同発表者 若島克利,湯浅 衛,本間章彦,平栗健二,大越康晴