ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2010/03/10
発表テーマ 半導体ウエハ用応力分布 測定装置の開発
会議名 日本機械学会
学会区分 地方学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 明治大
発表者・共同発表者 加藤弘樹,花井雅道,五味健二
593-594