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ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二 所属 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 1998/03 |
| 発表テーマ | 赤外線レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力測定 |
| 会議名 | 日本機械学会 |
| 学会区分 | 地方学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 開催地名 | 神奈川 |
| 発表者・共同発表者 | 五味・新津 |
| 号 | 98-1-2 |
| 頁 | 34-35 |