ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2000/08
発表テーマ GaAsウエハの残留応力と結晶すべりの関係
会議名 日本機械学会 2000年度年次大会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 名古屋
発表者・共同発表者 五味・新津・一瀬
00-1
245-246