フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2014/09/09
発表テーマ 空気圧ベローズを用いた3自由度微動ステージの超精密位置決め
会議名 日本機械学会2014年度年次大会
主催者 (一社)日本機械学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 東京都足立区
発表者・共同発表者 水野 智国,藤田 壽憲,榊 和敏,川嶋 健嗣,香川 利春