フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2012/09/10
発表テーマ 空気圧ベローズを用いた静圧案内微動ステージの超精密位置決め
会議名 日本機械学会 2012年度年次大会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 村木雄飛,藤田壽憲,榊和敏,川嶋健嗣,香川利春
概要 石川県金沢市 金沢大学