フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2012/03/16
発表テーマ 空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め制御
会議名 精密工学会 春季大会学術講演会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 東京都八王子市
発表者・共同発表者 山本敏之,藤田壽憲,川嶋健嗣,香川利春,榊和敏
CD-ROM