シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2015/03/11
発表テーマ	UHVスパッタエピタキシー法によるAlInN層の成長
会議名	第62回応用物理学会春季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	神田 赳志，多田 暁由，小橋 勇希，福井 迪，水野 愛，篠田宏之，六倉 信喜