シノダ　ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki   篠田　宏之    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2014/03/20
発表テーマ	UHVスパッタエピタキシーによるInN層の成長
会議名	第61 回応用物理学会春季学術講演会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	小橋勇希，多田暁由，福井迪，笹原駿介，比留間翔太，増田貴則，篠田宏之，六倉信喜