コマツ　サトシ   KOMATSU Satoshi   小松　聡    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2018/03/20
発表テーマ	シリコン直接接合プロセスを用いたMEMS絶対圧センサ
会議名	電子情報通信学会2018年総合大会, C-12-2
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	単独
発表者・共同発表者	野口駿太，小松聡