コマツ　サトシ   KOMATSU Satoshi   小松　聡    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
発表年月日	2012/08/30
発表テーマ	キャラクタプロジェクションによる電子ビーム直描技術におけるビア層のスループット向上とステンシル面積削減のための配線設計およびキャラクタ抽出
会議名	DAシンポジウム2012論文集
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
発表者・共同発表者	池野理門, 丸山隆司, 飯塚哲也, 小松聡, 池田誠, 浅田邦博