ヤマウチ　ヒロシ   YAMAUCHI Hiroshi   山内　博    所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   助教（Ａ）
発表年月日	2019/09/03
発表テーマ	紫外線オゾン処理による塗布型IGZO-TFTの低温化プロセスとFET特性
会議名	電気学会　基礎・材料・共通部門
主催者	電気学会
学会区分	全国学会
発表形式	口頭（一般）
単独共同区分	共同
発表者・共同発表者	角田航、瀬川康樹、山内博、岡田悠悟、酒井正俊、山本和貫、飯塚正明、工藤一浩