マツヤ イワオ   MATSUYA Iwao
  松谷 巌
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 機械工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   職種   准教授
発表年月日 2014/12/03
発表テーマ Measuring Thickness of Thin Film Whose Sound Velocity is Unknown Utilizing Acoustic Resonant Spectroscopy
会議名 The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
主催者 Ultrasonic Symposium
学会区分 国際学会
発表形式 口頭(招待・特別)
開催地名 Tokyo
発表者・共同発表者 Takamasa Saito, Iwao Matsuya, Kiyoshi Ohnuma, Takashi Kuwahara, Mizuki Kondo, and Ikuo Ihara