マツヤ イワオ   MATSUYA Iwao
  松谷 巌
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 機械工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   職種   准教授
発表年月日 2015/03/06
発表テーマ 音響共鳴法と時間計測を利用した基板表面上の薄膜の音速と膜厚の同時計測に関する研究
会議名 日本機械学会北陸信越支部学生会 第44回学生員卒業研究発表講演会
主催者 日本機械学会北陸信越支部
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 新潟県柏崎市
発表者・共同発表者 齊藤嵩允、松谷 巌、大沼 清、桑原敬司、近藤みずき、井原郁夫