オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2002/09
発表テーマ 高周波プラズマCVD法による半球状構造物へのDLC膜の成膜(Ⅱ)
会議名 第63回応用物理学会学術講演会(秋季)
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 新潟大学 五十嵐キャンパス
発表者・共同発表者 髙田哲,大越康晴,齊藤智之,土本勝也,平栗健二,本間章彦,巽英介,妙中義之,福井康裕