オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2003/11
発表テーマ プラズマCVD法による三次元構造物への薄膜堆積と膜の均一性評価
会議名 第2回21世紀連合シンポジウム-科学技術と人間-
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 ポスター
開催地名 東海大学 代々木校舎
発表者・共同発表者 大川貴久,大越康晴,髙田哲,金子陽介,小林晋也,佐藤慶介,平栗健二