オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2004/09
発表テーマ 円筒状構造物を対象としたr.f.プラズマ CVD プロセス評価 (Ⅰ)
会議名 第65回応用物理学会学術講演会 (秋季)
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 (東北学院大学 泉キャンパス)
発表者・共同発表者 大越康晴,白戸淳也,佐藤慶介,平栗健二