オオゴエ ヤスハル   OHGOE Yasuharu
  大越 康晴
   所属   東京電機大学  理工学部 理工学科 電子工学系
   東京電機大学大学院  理工学研究科 電子・機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 先端技術創成専攻
   職種   准教授
発表年月日 2017/11
発表テーマ 低周波プラズマプロセスによる窒素含有DLCの形成と電気的特性評価
会議名 第31回ダイヤモンドシンポジウム
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
発表者・共同発表者 藤本桂大,海保杜久麻,本間章彦,平栗健二,大越康晴