タカイ ヒロシ   TAKAI Hiroshi
  高井 裕司
   所属   東京電機大学  システムデザイン工学部(2017年度新設) デザイン工学科(2017年度新設)
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1980/04
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Silicon Epitaxy by Plasma Dissociation of Silane
執筆形態 共著
著者・共著者 S. Suzuki H. Takai T. Itoh