タカイ ヒロシ   TAKAI Hiroshi
  高井 裕司
   所属   東京電機大学  システムデザイン工学部(2017年度新設) デザイン工学科(2017年度新設)
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2000
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 エキシマレーザーによるSiへのAl注入堆積
執筆形態 共著
掲載誌名 レーザー科学研究
巻・号・頁 42-44頁