マツダ　ナミオ   MATSUDA Namio   松田　七美男    所属   東京電機大学  システムデザイン工学部 自然科学系列（システムデザイン工学部）    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 物質工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	1985
形態種別	ショートペーパー
標題	TiNをコ-ティングしたアルミナ高周波窓の性質
執筆形態	共著