ムツクラ ノブキ   MUTSUKURA Nobuki
  六倉 信喜
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2002/12
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Deposition of diamond-like carbon film in a closed-space CH4 rf plasma
執筆形態 共著
掲載誌名 Plasma Chemistry & Plasma Processing 22(2002)
巻・号・頁 pp.607-617
著者・共著者 N.Mutsukura, Y.Handa(学)