モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2010/12
形態種別 学術研究論文
標題 ナノ構造シリコンへのH2-N2プラズマ処理効果
執筆形態 共著
掲載誌名 信学技報
出版社・発行元 電子情報通信学会
巻・号・頁 110(351),33-37頁
著者・共著者 渡辺晃次、須田健一、仲田英起、本橋光也