モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2011/04
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 膜堆積時の基板温度がa-SiC:H積層膜中の原子結合状態に与える影響
執筆形態 共著
掲載誌名 日本材料科学会誌
巻・号・頁 48(2),79-86頁
著者・共著者 ◎和賀井達也,清水文隆,本橋光也,藤本明,本間和明