モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2011/04
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	膜堆積時の基板温度がa-SiC:H積層膜中の原子結合状態に与える影響
執筆形態	共著
掲載誌名	日本材料科学会誌
巻・号・頁	48(2),79-86頁
著者・共著者	◎和賀井達也，清水文隆，本橋光也，藤本明，本間和明