モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2001/06
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 原料ガス分離分解型プラズマCVD法により作製したa-SiC:H膜の光学的特性
執筆形態 共著
掲載誌名 電子情報通信学会論文誌
巻・号・頁 J84-C(6),508-515頁