フルタニ リョウシュウ   FURUTANI Ryoshu
  古谷 涼秋
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2016/08
形態種別 国際会議論文
査読 査読有り
標題 Six Degree-of-freedom errors measurement system using the ball lens as the target mirror of the interferometers
執筆形態 共著
掲載誌名 Proceedings of 5th International Conference on Nanomanufacturing
掲載区分国外
巻・号・頁 pp.1-5
著者・共著者 ◎Jun Izawa, Takuya Tsukamoto, Miyu Ozaki and Ryoshu FURUTANI