ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2005
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 13.56MHz radio frequency plasma properties on hemispheric electrodes and diamond-like carbon films deposition on three-dimensional polyurethane diaphragms
執筆形態 共著
掲載誌名 Journal of Vacuum Science and Technology B
巻・号・頁 A22,pp.2195-2200
著者・共著者 Y. Ohgoe