ヒラクリ　ケンジ   HIRAKURI Kenji   平栗　健二    所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	2005
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	13.56MHz radio frequency plasma properties on hemispheric electrodes and diamond-like carbon films deposition on three-dimensional polyurethane diaphragms
執筆形態	共著
掲載誌名	Journal of Vacuum Science and Technology B
巻・号・頁	A22,pp.2195-2200
著者・共著者	Y. Ohgoe