ゴミ　ケンジ   GOMI Kenji   五味　健二    所属   東京電機大学  工学部 機械工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	英語
発行・発表の年月	1995/11
形態種別	学術研究論文
査読	査読有り
標題	Investigation of Photoelastic Property of Semiconductor Wafers
執筆形態	共著
掲載誌名	Proc. of Appl. of Exp. Mech. Elect. Packaging ASME
巻・号・頁	(EEP-13/AMD-214 Book No.01021-1995),pp.103-108
著者・共著者	Y. Niitsu, T. Ono