ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 1995/11
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Investigation of Photoelastic Property of Semiconductor Wafers
執筆形態 共著
掲載誌名 Proc. of Appl. of Exp. Mech. Elect. Packaging ASME
巻・号・頁 (EEP-13/AMD-214 Book No.01021-1995),pp.103-108
著者・共著者 Y. Niitsu, T. Ono