ゴミ　ケンジ   GOMI Kenji   五味　健二    所属   東京電機大学  工学部 機械工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻    職種   教授
言語種別	日本語
発行・発表の年月	2001/09
形態種別	会議論文
標題	レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力測定とその応用
執筆形態	共著
掲載誌名	日本機械学会関東支部ブロック 合同講演会−2001鳩山・講演論文集
巻・号・頁	(010-2),291-292頁
概要	牧野・新津・一瀬