ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2001/09
形態種別 会議論文
標題 レーザ光弾性法によるGaAsウエハの残留応力測定とその応用
執筆形態 共著
掲載誌名 日本機械学会関東支部ブロック 合同講演会−2001鳩山・講演論文集
巻・号・頁 (010-2),291-292頁
概要 牧野・新津・一瀬