|
フジタ トシノリ
FUJITA Toshinori
藤田 壽憲 所属 東京電機大学 工学部 先端機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
|
| 言語種別 | 日本語 |
| 発行・発表の年月 | 2018/06 |
| 形態種別 | 学術研究報告書 |
| 標題 | 静圧軸受を内蔵する非接触駆動空気圧サーボを用いた超精密X-Yステージの開発と制御 |
| 執筆形態 | 単著 |
| 掲載誌名 | 科学研究費助成事業（科学研究費補助金）研究成果報告書 |
| 掲載区分 | 国内 |
| 巻・号・頁 | 1-6頁 |