フジタ トシノリ   FUJITA Toshinori
  藤田 壽憲
   所属   東京電機大学  工学部 先端機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
言語種別 日本語
発行・発表の年月 2013/06
形態種別 学術研究報告書
標題 低流体ノイズ弁による空気圧ベローズ微動ステージのサブナノ位置決め制御法の開発
執筆形態 単著
掲載誌名 科学研究費助成事業(科学研究費補助金)研究成果報告書
巻・号・頁 1-6頁