シノダ ヒロユキ   SHINODA Hiroyuki
  篠田 宏之
   所属   東京電機大学  工学部 電子システム工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
言語種別 英語
発行・発表の年月 2017/01
形態種別 学術研究論文
査読 査読有り
標題 Preparation and properties of GaN:Al layers grown by radio-frequency magnetron sputter epitaxy
執筆形態 共著
掲載誌名 Vacuum
掲載区分国外
出版社・発行元 Elsevier
巻・号・頁 138,pp.87-92
著者・共著者 Hiroyuki Shinoda, Nobuki Mutsukura