ゴミ ケンジ   GOMI Kenji
  五味 健二
   所属   東京電機大学  工学部 機械工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 機械システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 機械工学専攻
   職種   教授
研究期間 1998/04~2000/03
研究課題 GaAsウエハの残留応力場とウエハ熱処理時に誘起される転位の関係
実施形態 科学研究費補助金
研究種目名 奨励(A)
科研費研究課題番号 10750076
科研費分類材料力学、機械材料
代表分担区分 研究代表者