ゴミ ケンジ
GOMI Kenji
五味 健二 所属 東京電機大学 工学部 機械工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 機械システム工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 機械工学専攻 職種 教授 |
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研究期間 | 1998/04~2000/03 |
研究課題 | GaAsウエハの残留応力場とウエハ熱処理時に誘起される転位の関係 |
実施形態 | 科学研究費補助金 |
研究種目名 | 奨励(A) |
科研費研究課題番号 | 10750076 |
科研費分類 | 材料力学、機械材料 |
代表分担区分 | 研究代表者 |