モトハシ ミツヤ
MOTOHASHI Mitsuya
本橋 光也 所属 東京電機大学 工学部 情報通信工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 情報通信工学専攻 職種 教授 |
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学位取得年月日 | 1991/03/18 |
取得学位名 | 工学博士 |
取得方法区分 | 課程 |
取得学位分野名 | 無機材料・物性 |
学位論文名 | 高品質アモルファスシリコン薄膜の作製プロセスと膜質評価に関する研究 |
最終学位フラグ | 最終学位 |