教員情報 - 小林　宏史 | 東京電機大学

コバヤシ　ヒロシ KOBAYASHI Hiroshi
小林　宏史

所属東京電機大学工学部先端機械工学科

東京電機大学大学院先端科学技術研究科機械システム工学専攻

東京電機大学大学院工学研究科先端機械工学専攻

職種教授

取得特許
1.	2024/03/06	露光装置（審査請求予定）（特開2024-029579）
2.	2024/03/06	露光装置（審査請求予定）（特開2024-029580）
3.	2024/02/20	露光装置（審査請求予定）（特願2024-023720）
4.	2023/11/14	立体フォトマスク及びその製造方法、露光装置、露光方法（審査請求予定）（特願2023-193516）
5.	2023/08/23	内面露光装置（審査請求予定）（特開2023-117156）
6.	2023/08/21	露光装置（審査請求予定）（特願2023-133756）
7.	2023/05/15	露光装置および露光方法（審査請求予定）（特開2023-066416）
8.	2017/08/02	散乱光情報処理方法、散乱光情報処理装置及び散乱光情報処理システム（特許第6173486号）
9.	2017/07/05	減光率測定方法および光強度測定装置（WO2017081723A1）
10.	2013/09/04	面形状測定機、面形状測定方法、及び面形状の測定値の解析方法（特許第5281918号）
11.	2013/05/24	面形状測定機、面形状測定方法、及び面形状の測定値の解析方法（特許第5275853号）
12.	2012/09/26	３次元形状測定方法及び３次元形状測定装置（特許第5032741号）
13.	2010/11/10	形状測定センサ（特許5663274）
14.	2009/03/23	測定用プローブ（特開2010223720）
15.	2008/01/17	Projection exposure apparatus and projection exposure method （US8421999B2）
16.	2007/09/06	形状測定装置及び形状測定装置の制御方法（特開2009063417）
17.	2007/03/28	形状測定装置及び形状測定装置の制御方法（特開2008241571）
18.	2007/01/22	投影露光装置および投影露光方法（特許第5190860号）
19.	2005/06/10	３次元形状測定装置及び方法（特開2006343255）
20.	2005/06/10	３次元形状測定装置及び方法（特開2006343256）
21.	2004/08/11	３次元形状測定方法及び３次元形状測定装置（特開2006052998）
22.	2004/05/17	３次元形状測定方法（特開2005326344）
23.	2004/01/30	表面形状測定装置、及び表面形状測定方法（特開2005214880）
24.	2001/02/02	液晶マトリックス投影露光装置（特許第4761261号）