モトハシ　ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya   本橋　光也    所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科    東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻    東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻    職種   教授
発表年月日	2010/11/30
発表テーマ	Growth Model and Nanostructure of a-SiC:H Thin Film Analyzed by In Situ Real-Time Infrared Reflection Spectroscopy
会議名	2010 Material Research Society Fall Meeting
主催者	Material Research Society (US)
学会区分	国際学会
発表形式	ポスター
開催地名	Boston
発表者・共同発表者	Mitsuya Motohashi, Fumitaka Shimizu, Hideki Nakada, Morishige Yoneda, Masaaki Niwa, Kazuaki Homma
概要	No. UU5.2