モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2010/09/15
発表テーマ ナノポーラスシリコンへのH2-N2プラズマ処理
会議名 第71回応用物理学会学術講演会
主催者 応用物理学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 渡辺晃次、安藤光、福家優、須田健一、仲田英起、本橋光也
概要 No.15-ZD-8