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モトハシ ミツヤ
MOTOHASHI Mitsuya
本橋 光也 所属 東京電機大学 工学部 情報通信工学科 東京電機大学大学院 先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻 東京電機大学大学院 工学研究科 情報通信工学専攻 職種 教授 |
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| 発表年月日 | 2011/09/13 |
| 発表テーマ | H2-N2プラズマ処理時のガス圧力がナノ構造シリコンに及ぼす影響 |
| 会議名 | 電子情報通信学会 |
| 学会区分 | 全国学会 |
| 発表形式 | 口頭（一般） |
| 開催地名 | 札幌市（北海道大学） |
| 発表者・共同発表者 | ◎深井浩輝・長島康仁・須田健一・仲田英起・本橋光也 |
| 概要 | 2011年ソサイエティ大会，講演番号C-11-1 |