モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2011/09/13
発表テーマ H2-N2プラズマ処理時のガス圧力がナノ構造シリコンに及ぼす影響
会議名 電子情報通信学会
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
開催地名 札幌市(北海道大学)
発表者・共同発表者 ◎深井浩輝・長島康仁・須田健一・仲田英起・本橋光也
概要 2011年ソサイエティ大会,講演番号C-11-1