モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2011/06/03
発表テーマ シリコン系材料の表面改質を目的としたH2-N2プラズマの評価
会議名 日本材料科学会
学会区分 全国学会
発表形式 ポスター
開催地名 東京、新宿(工学院大学)
発表者・共同発表者 ◎仲田英起,須田健一,深井浩輝,本橋光也
概要 平成23年度学術講演大会,講演番号25P
51-52