モトハシ ミツヤ   MOTOHASHI Mitsuya
  本橋 光也
   所属   東京電機大学  工学部 情報通信工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 物質生命理工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 情報通信工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2017/11/24
発表テーマ プラズマ処理時の温度がシリコン系メゾスコピック構造に与える影響
会議名 第5回メゾスコピック研究会講演会
主催者 日本材料科学会
学会区分 研究会・シンポジウム等
発表形式 ポスター
単独共同区分 共同
開催地名 小田原市
発表者・共同発表者 渡邉弘樹,新村公基,丹羽雅昭,鈴木俊明,本橋光也
概要 P20