ヒラクリ ケンジ   HIRAKURI Kenji
  平栗 健二
   所属   東京電機大学  工学部 電気電子工学科
   東京電機大学大学院  先端科学技術研究科 電気電子システム工学専攻
   東京電機大学大学院  工学研究科 電気電子工学専攻
   職種   教授
発表年月日 2005/09/07
発表テーマ [RF プラズマ CVD 法による厚い PC 基板への DLC 堆積]
会議名 第66回応用物理学会学術講演会, 徳島大学,
学会区分 全国学会
発表形式 口頭(一般)
発表者・共同発表者 龍田和也, 松井優太, 山口聖測, 佐藤慶介, 平栗健二,